Hợp chất telu oxit lần đầu tiên được báo cáo vào năm 1883 bởi E. Divers và M. Shimose.[6] Hợp chất này được cho là tạo ra bởi sự phân hủy nhiệt của telu sunfoxit trong chân không[7] và được cho là phản ứng với hydro chloride trong một báo cáo năm 1913.[8] Sau đó công trình đã không chứng minh các yêu cầu được nêu thêm rằng đây là một hợp chất rắn tinh khiết.[3] Đến năm 1984, công ty Panasonic đã làm việc trên một ổ đĩa quang có thể xóa được có chứa "telu oxit" (thực sự là một hỗn hợp của Te và TeO2).[9]